芜湖鑫光防腐设备有限责任公司

一般来说，废气排放量较大，VOCs浓度较低。半导体工艺过程中有机废气具有排放流量大(通常大于11000m3/h)和浓度低(通常小于25ppmv)的特点，电子工业废气VOCs排放中还含有酸性气体、碱性气体和一些有毒气体。

挥发性有机物(VOCs)排放量大、浓度低、成分复杂，常见有机废气治理方法如：焚烧、吸附、冷凝、生物膜法、低温等离子、光催化氧化等，单独运用或无法达成经济运行，或不能满足严苛的排放标准。

电子厂废气处理方法

（1）预处理阶段：一般采用喷淋塔先对废气进行预处理，去除粉尘以及易溶于水的有害气体。

（2）主要处理阶段：在此阶段，比较常见而有效方法有：UV光解，生物过滤分解，焚烧和催化燃烧等。

这几种方式各有优劣，根据大多数电子厂废气的情况，在这里我们主要推荐和介绍活性炭浓缩+蓄热式催化燃烧系统去除VOCs气体的方案。

活性炭浓缩

即采用活性炭吸附装置来对废气进行浓缩。由于电子厂废气具有风量大，浓度低的特点，而催化燃烧系统在启动运行时，对能源的消耗较大，如果预处理后的气体先通过活性炭吸附到达一定浓度后，再进入催化燃烧系统，相对于直接进入催化燃烧系统，将可以大大的节省能源的消耗。

活性炭吸附器又可称为活性炭吸附器、活性炭吸附过滤器、活性炭吸附箱。是一种废气过滤吸附异味的环保设备产品，活性炭吸附塔塔体可用不锈钢、碳钢、PP板等材质制作。活性炭吸附塔具有吸附、适用面广、维护方便、能同时处理多种混合废气等优点，活性炭具有去除甲醛、苯、TVOC等有害气体和消毒除臭等作用。

从表1VOCs浓度和转化率数据可知：在相同测试条件下，在VOCs浓度400-600ppm区间内，大多数VOCs气体具有较高转化率。然而，光催化降解苯、三氯、和的效率是不明显的。

随着系列VOCs气体测试时间延长，光催化剂的降解效率均没有发现明显的下降，说明光催化材料在使用过程中没有失活。但特别强调的是，随着测试时间的延长，的转化率降低为20.9%，原因在于光催化剂失活，失活原因在于光催化剂表面生成中间产物、苯甲酸和基苯甲酸等。

同时也发现，当O2浓度不足时，的转化率在90min照射后降低到10%；而当O2存在时，的转化率一直保持在98%，所以的降解效率与O2浓度有很大的关系。

此外，光催化剂在相对湿度较低的情况下，紫外灯光照一段时间光催化降解效率显著降低，原因在于羟基自由基在非均相反应中不断被消耗，需要大量的水补充羟基自由基的不断消耗。

总之，由于VOCs气体本身性质的差异，在使用光催化对其进行光催化降解时其处理效果也有着很大的差异。另外，对采用光催化技术对VOCs气体进行处理时，也应该关注光催化设备的配置，包括光催化剂本身的性质、紫外灯的阵列、湿度、温度及氧气浓度的控制等。