
一般来说,废气排放量较大,VOCs浓度较低。半导体工艺过程中有机废气具有排放流量大(通常大于11000m3/h)和浓度低(通常小于25ppmv)的特点,电子工业废气VOCs排放中还含有酸性气体、碱性气体和一些有毒气体。
挥发性有机物(VOCs)排放量大、浓度低、成分复杂,常见有机废气治理方法如:焚烧、吸附、冷凝、生物膜法、低温等离子、光催化氧化等,单独运用或无法达成经济运行,或不能满足严苛的排放标准。
电子厂废气处理方法
(1)预处理阶段:一般采用喷淋塔先对废气进行预处理,去除粉尘以及易溶于水的有害气体。
(2)主要处理阶段:在此阶段,比较常见而有效方法有:UV光解,生物过滤分解,焚烧和催化燃烧等。
这几种方式各有优劣,根据大多数电子厂废气的情况,在这里我们主要推荐和介绍活性炭浓缩+蓄热式催化燃烧系统去除VOCs气体的方案。







活性炭浓缩
即采用活性炭吸附装置来对废气进行浓缩。由于电子厂废气具有风量大,浓度低的特点,而催化燃烧系统在启动运行时,对能源的消耗较大,如果预处理后的气体先通过活性炭吸附到达一定浓度后,再进入催化燃烧系统,相对于直接进入催化燃烧系统,将可以大大的节省能源的消耗。
活性炭吸附器又可称为活性炭吸附器、活性炭吸附过滤器、活性炭吸附箱。是一种废气过滤吸附异味的环保设备产品,活性炭吸附塔塔体可用不锈钢、碳钢、PP板等材质制作。活性炭吸附塔具有吸附、适用面广、维护方便、能同时处理多种混合废气等优点,活性炭具有去除甲醛、苯、TVOC等有害气体和消毒除臭等作用。
从表1VOCs浓度和转化率数据可知:在相同测试条件下,在VOCs浓度400-600ppm区间内,大多数VOCs气体具有较高转化率。然而,光催化降解苯、三氯、和的效率是不明显的。
随着系列VOCs气体测试时间延长,光催化剂的降解效率均没有发现明显的下降,说明光催化材料在使用过程中没有失活。但特别强调的是,随着测试时间的延长,的转化率降低为20.9%,原因在于光催化剂失活,失活原因在于光催化剂表面生成中间产物、苯甲酸和基苯甲酸等。
同时也发现,当O2浓度不足时,的转化率在90min照射后降低到10%;而当O2存在时,的转化率一直保持在98%,所以的降解效率与O2浓度有很大的关系。
此外,光催化剂在相对湿度较低的情况下,紫外灯光照一段时间光催化降解效率显著降低,原因在于羟基自由基在非均相反应中不断被消耗,需要大量的水补充羟基自由基的不断消耗。
总之,由于VOCs气体本身性质的差异,在使用光催化对其进行光催化降解时其处理效果也有着很大的差异。另外,对采用光催化技术对VOCs气体进行处理时,也应该关注光催化设备的配置,包括光催化剂本身的性质、紫外灯的阵列、湿度、温度及氧气浓度的控制等。

