
一般来说,废气排放量较大,VOCs浓度较低。半导体工艺过程中有机废气具有排放流量大(通常大于11000m3/h)和浓度低(通常小于25ppmv)的特点,电子工业废气VOCs排放中还含有酸性气体、碱性气体和一些有毒气体。
挥发性有机物(VOCs)排放量大、浓度低、成分复杂,常见有机废气治理方法如:焚烧、吸附、冷凝、生物膜法、低温等离子、光催化氧化等,单独运用或无法达成经济运行,或不能满足严苛的排放标准。
电子厂废气处理方法
(1)预处理阶段:一般采用喷淋塔先对废气进行预处理,去除粉尘以及易溶于水的有害气体。
(2)主要处理阶段:在此阶段,比较常见而有效方法有:UV光解,生物过滤分解,焚烧和催化燃烧等。
这几种方式各有优劣,根据大多数电子厂废气的情况,在这里我们主要推荐和介绍活性炭浓缩+蓄热式催化燃烧系统去除VOCs气体的方案。







工业除尘设备水喷淋技术广泛应用于空气污染治理,已应用在喷涂过程中,原理是通过水喷洒在废气排放,水溶性或大颗粒沉降,实现污染物、洁净的气体分离的目的。水喷淋法对工业除尘设备有什么效果?
水喷淋在同一时间沉淀过滤后,可以重复使用,减少水资源的浪费,水喷在处理大颗粒组成的一个比较高的效冷凝法。除尘设备直接冷凝或吸附浓缩冷凝后,除尘设备水喷淋通过分离和价值的有机物回收冷凝液。适合用于高浓度,低温度,废气处理风量小。运行成本高,一般不采用这种方法净化喷漆废气。
为什么现在要用这种光解和催化结合的紫外光废气处理设备技术?
现在环保标准在一步步提高,以前光靠等离子态的方式处理废气已经满足效果。打个比方,光解能处理30%的废气,二氧化钛能处理30%的废气,等离子能处理30%的废气。机器越大处理效果越好,如果风量算好,三结合的方式是能处理90%以上的 废气。恶臭气体利用排风设备输入到本UV光解净化设备后,废气处理设备运用高能UV紫外线光束及臭氧对恶臭气体进行协同裂解、氧化反应,使恶臭气体物质其降解转化成低分子化合物、水和二氧化碳,再通过排风管道排出室外。